“现代的光刻技术分成几个步骤,首先是气相成底膜,就是硅片在清洗、烘培后首先通过浸泡、喷雾或化学气相沉积等工艺
然后是软烘,是涂完光刻胶后,需对硅片进行软烘,除去光刻胶中残余的溶剂,提高光刻胶的粘附性和均匀性
显影完成后通过旋转甩掉多余显影液,并用高纯水清洗后甩干
最后就是去胶,是刻蚀完成后,通过特定溶剂,洗去硅片表面残余的光刻胶,此时一个小小的芯片基本就完成了!”
呈贤把这台光刻机的工作原理讲的非常清楚,让周明都有耳目一新的感觉
“现代的光刻技术分成几个步骤,首先是气相成底膜,就是硅片在清洗、烘培后首先通过浸泡、喷雾或化学气相沉积等工艺
天才萌宝:爹地,别心急乔侨萧御琛:1479,完美收官(尾) 发表于 2020-07-17 15:00:29然后是软烘,是涂完光刻胶后,需对硅片进行软烘,除去光刻胶中残余的溶剂,提高光刻胶的粘附性和均匀性
全宇宙最后一只喵[星际]:130 大圆满~ 发表于 2019-12-25 19:55:14显影完成后通过旋转甩掉多余显影液,并用高纯水清洗后甩干
权游:睡龙之怒:第一百一十四章 终章(下) 发表于 2023-10-20 00:35:35最后就是去胶,是刻蚀完成后,通过特定溶剂,洗去硅片表面残余的光刻胶,此时一个小小的芯片基本就完成了!”
他的金丝雀:70.景晞番外(完) 发表于 2018-01-24 19:58:30呈贤把这台光刻机的工作原理讲的非常清楚,让周明都有耳目一新的感觉
七界传说:后记 发表于 2022-01-27 23:16:13