第239章 102所又一次国际震撼
第239章102所又一次国际震撼
ASML研发中心,冯林生正在演示102所激光光源的最新研究成果。
这可不是PPT演示,是实物展示,或者也可以说是技术认定。
氟化氩准分子激光器是一种利用激发态的准分子ArF*衰变释放193nm光子的激光装置。其工作原理是相当精妙的,通过放电和反应过程实现光子的放大和放出。
当放电通过Ar/F2混合物时,会产生Ar+离子和电子。这些电子会与氩原子碰撞并激发它们,使其达到激发态。一旦氩原子被激发,它会与氟分子发生反应,形成激发态的准分子ArF*。这个准分子态会在瞬态下自发衰变回未结合的氩和氟原子,在这个过程中,会释放出193nm的光子。
为了将这个激发态的准分子有效放大,并产生激光振荡,激光器内部放置了两个反射镜,形成一个光学腔。这样一来,激发态的准分子会引起受激发射和激光振荡,进一步形成和衰变,释放出更多的193nm光子。这些光子在激光器内不断反射,并与更多的激发态准分子相互作用,产生更多的光子。这个过程不断重复,使得光子数量逐渐增加。
最后,光束通过部分反射输出镜射出,形成一束强大的193nm激光。为了维持持续的激光作用,泵浦保持着所需的电子密度和激发。泵浦的作用是通过外部能源为放电提供足够的能量,以保持激光器的运行。
原理看起来很简单,不过混合物的压力、温度,激发时的电压,振荡器的设置,光学腔的摆放,当然最为核心的就是泵浦,需要在计算机上核算每一秒输出的能量,并控制整个过程中的电压。
就跟核裂变反应差不多,泵浦给的能量少了,氟化氩激光器不能稳定运行,而泵浦给的能量多了,那可能直接把反应堆给爆了……
这些都要建立精确的数学模型进行计算。
而专门为氟化氩光源设计的SSPPM固态脉冲功率模块,则完全是102所的黑科技了,双腔体结构准分子激光可以完全兼顾功率与线宽。
当直流充电电压达到800伏特,工作频率达到1千赫兹放电的脉冲上升到90纳秒,脉冲电压则高达16.9千伏……
ASML光源研究所总监皮埃路易吉·塔米大呼:“上帝啊,我到底看到了什么?”
外行看热闹,而内行看到这一个个数据,已然看到一座高山,需要仰望的高山。
氟化氩技术路线不是102所提出来的,早在三十年前,就有人发现氟化氩准分子受激发射193纳米激光现象。
全世界都在研究,如何收获稳定而且有着高功率的激光光源。
而拦住的门槛可不止一个,高频泵浦电源以及激光器始终是解决不了的高山。
而双腔同步振荡放大技术则是102所的独创,基本思想是利用MO种子腔获得窄线宽优质种子光。
一般输出能量小,将种子光注入到PA放大腔实现光能量放大,获得窄线宽、大功率的优质激光束输出。双腔固态电源的引入大大提高了准分子激光器件的输出功率。
193纳米紫外线肉眼是看不见的,但探测器可以检测到,不光检测到,还可以测量这束激光的功率。
“67W,功率上下波动在5%以内!”
“……”
30W的功率就可以进入商用了,而67瓦已经超过标准的两倍。
而检测光束方向等仪器传来的数据,都远超标准需求。
克里斯·阿姆斯特朗眼睛在发光,他很清楚ASML要是装上193纳米激光器,意味着什么?
尼康,佳能,再也不是横在ASML面前的大山,他们可以轻易的用代差将尼康、佳能踩在脚下。
他们要跟102所继续合作,就跟246纳米氟化氪激光器合作那样……
……
而此时,法国巴黎……
巴统协会第二百八十四次例行会议,轮值主席国美利坚抛出一项议案。
美方提出的理由依然基于安全方面的考虑。
“基于西方的技术,开发了500纳米制程的技术,据我们调查所知,他们已经把这项技术用在军事上……”
那你倒是能拿出实质证据啊!
当然,他们也知道欧洲人不一定认同,接下来就是他们豢养的两条犬上来表演了。
这一点,老毛子是看的很清楚的,他们认为要是美利坚一句话没说,那可以肯定,他们一定是吃了大亏了……
而韩国人则是一点也不手软啊,不光说军事,连经济也提出来了,DRAM内存,手机通讯,抢占了全球市场,这是严重威胁西方经济安全的……
这一棍子算是打在欧洲人的痛处了,DRAM内存他们不关注,欧洲本来就没占什么市场,但是手机通讯,就不得不提让欧洲人流泪的GSM标准了。
“可你们的华尔街日报不是说WCDMA是摩托罗拉、高通主导制定的标准吗?连中讯的名字都没提……”
“……”
虽然行内说法各异,但西方的媒体似乎都统一了口径,WCDMA是美国的标准,摩托罗拉与高通是2G通讯的领导者,
面子有了,里子没了,而欧洲强在工控芯片,应用芯片,这一点,可没有挤压他们的生存空间,反倒是美国厂家咄咄逼人。
至少法国代表让·克卢埃认为:这是犹太人开始耍赖了……
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ASML研发中心,冯林生正在演示102所激光光源的最新研究成果。
这可不是PPT演示,是实物展示,或者也可以说是技术认定。
氟化氩准分子激光器是一种利用激发态的准分子ArF*衰变释放193nm光子的激光装置。其工作原理是相当精妙的,通过放电和反应过程实现光子的放大和放出。
当放电通过Ar/F2混合物时,会产生Ar+离子和电子。这些电子会与氩原子碰撞并激发它们,使其达到激发态。一旦氩原子被激发,它会与氟分子发生反应,形成激发态的准分子ArF*。这个准分子态会在瞬态下自发衰变回未结合的氩和氟原子,在这个过程中,会释放出193nm的光子。
为了将这个激发态的准分子有效放大,并产生激光振荡,激光器内部放置了两个反射镜,形成一个光学腔。这样一来,激发态的准分子会引起受激发射和激光振荡,进一步形成和衰变,释放出更多的193nm光子。这些光子在激光器内不断反射,并与更多的激发态准分子相互作用,产生更多的光子。这个过程不断重复,使得光子数量逐渐增加。
最后,光束通过部分反射输出镜射出,形成一束强大的193nm激光。为了维持持续的激光作用,泵浦保持着所需的电子密度和激发。泵浦的作用是通过外部能源为放电提供足够的能量,以保持激光器的运行。
原理看起来很简单,不过混合物的压力、温度,激发时的电压,振荡器的设置,光学腔的摆放,当然最为核心的就是泵浦,需要在计算机上核算每一秒输出的能量,并控制整个过程中的电压。
就跟核裂变反应差不多,泵浦给的能量少了,氟化氩激光器不能稳定运行,而泵浦给的能量多了,那可能直接把反应堆给爆了……
这些都要建立精确的数学模型进行计算。
而专门为氟化氩光源设计的SSPPM固态脉冲功率模块,则完全是102所的黑科技了,双腔体结构准分子激光可以完全兼顾功率与线宽。
当直流充电电压达到800伏特,工作频率达到1千赫兹放电的脉冲上升到90纳秒,脉冲电压则高达16.9千伏……
ASML光源研究所总监皮埃路易吉·塔米大呼:“上帝啊,我到底看到了什么?”
外行看热闹,而内行看到这一个个数据,已然看到一座高山,需要仰望的高山。
氟化氩技术路线不是102所提出来的,早在三十年前,就有人发现氟化氩准分子受激发射193纳米激光现象。
全世界都在研究,如何收获稳定而且有着高功率的激光光源。
而拦住的门槛可不止一个,高频泵浦电源以及激光器始终是解决不了的高山。
而双腔同步振荡放大技术则是102所的独创,基本思想是利用MO种子腔获得窄线宽优质种子光。
一般输出能量小,将种子光注入到PA放大腔实现光能量放大,获得窄线宽、大功率的优质激光束输出。双腔固态电源的引入大大提高了准分子激光器件的输出功率。
193纳米紫外线肉眼是看不见的,但探测器可以检测到,不光检测到,还可以测量这束激光的功率。
“67W,功率上下波动在5%以内!”
“……”
30W的功率就可以进入商用了,而67瓦已经超过标准的两倍。
而检测光束方向等仪器传来的数据,都远超标准需求。
克里斯·阿姆斯特朗眼睛在发光,他很清楚ASML要是装上193纳米激光器,意味着什么?
尼康,佳能,再也不是横在ASML面前的大山,他们可以轻易的用代差将尼康、佳能踩在脚下。
他们要跟102所继续合作,就跟246纳米氟化氪激光器合作那样……
……
而此时,法国巴黎……
巴统协会第二百八十四次例行会议,轮值主席国美利坚抛出一项议案。
美方提出的理由依然基于安全方面的考虑。
“基于西方的技术,开发了500纳米制程的技术,据我们调查所知,他们已经把这项技术用在军事上……”
那你倒是能拿出实质证据啊!
当然,他们也知道欧洲人不一定认同,接下来就是他们豢养的两条犬上来表演了。
这一点,老毛子是看的很清楚的,他们认为要是美利坚一句话没说,那可以肯定,他们一定是吃了大亏了……
而韩国人则是一点也不手软啊,不光说军事,连经济也提出来了,DRAM内存,手机通讯,抢占了全球市场,这是严重威胁西方经济安全的……
这一棍子算是打在欧洲人的痛处了,DRAM内存他们不关注,欧洲本来就没占什么市场,但是手机通讯,就不得不提让欧洲人流泪的GSM标准了。
“可你们的华尔街日报不是说WCDMA是摩托罗拉、高通主导制定的标准吗?连中讯的名字都没提……”
“……”
虽然行内说法各异,但西方的媒体似乎都统一了口径,WCDMA是美国的标准,摩托罗拉与高通是2G通讯的领导者,
面子有了,里子没了,而欧洲强在工控芯片,应用芯片,这一点,可没有挤压他们的生存空间,反倒是美国厂家咄咄逼人。
至少法国代表让·克卢埃认为:这是犹太人开始耍赖了……
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